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光刻机被称为“工业皇冠上的明珠”，而投影物镜，就是这颗明珠上最耀眼的那一面。一台典型的DUV光刻机投影物镜，由29片镜片组成。近60个光学表面，最大直径达到80厘米，重量高达500公斤。29片镜片，每