已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
研究背景光刻技术作为现代微电子工业的基石，在高集成度、高精度电子器件的大规模生产中具有不可替代的优势。然而，传统光刻工艺中使用的溶剂会使有机薄膜溶胀甚至溶解，导致器件性能严重下降。因此，有机材料与传统