硅基单光子雪崩二极管(SPAD)技术:结构、性能与挑战

MEMS 2026年09月09日 查看原文

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单光子雪崩二极管(SPAD)已发展成为一种用途广泛的固态光电探测器,在光子计数、光子计时和先进成像等前沿技术中发挥着关键作用。SPAD具有高时间分辨率、快速响应、高增益、高量子效率以及不受磁场影响等优