DRAM生产,用上最贵光刻机

半导体行业观察 2026年09月09日 查看原文

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半导体行业观察:全球领先的存储半导体公司三星电子和SK海力士正加速推进高数值孔径极紫外光刻(High-NA EUV)技术的引入,该技术被誉为“梦寐以求的光刻设备”,旨在抢占下一代超微工艺的先机。