基于虚拟保护环的CMOS SPAD可靠性研究及优化方法

MEMS 2026年09月11日 查看原文

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采用CMOS工艺构建单光子雪崩二极管(SPAD)已成为单光子探测领域的关键技术。SPAD凭借光子灵敏度、时间响应、价格竞争力以及与片上电子电路集成方面的优势,已被广泛应用于激光雷达(LiDAR)、光子