已收录文章摘要,完整内容可前往原文阅读。
麦姆斯咨询获悉,近日,北京理工大学(简称:北理工)集成电路与电子学院I2MEMS研究所王晓毅教授团队提出的CMOS-MEMS单片垂直集成温度-湿度-流速多维感知传感芯片研究成果,被第72届IEEE国际