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微机电系统（MEMS）技术应用于声学传感器（例如麦克风）、惯性传感器（例如加速度计）和生物传感器等领域。MEMS器件实用性极强，但易受物理应力影响，其性能、稳定性和可靠性会因此受损。监测这类应力干扰至