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科学背景Si和SiN在集成光子学领域应用日益成熟，但单一材料平台无法满足光子集成电路日益多样化的需求，且缺乏电光（EO）调制、磁光（MO）隔离、激光和宽谱探测等功能。通过将功能材料异质集成到已建立的光