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在芯片制造领域，MEMS一直是一个特殊的领域。传统逻辑芯片可以依靠高度标准化的工艺套件，但MEMS往往是“一种器件对应一种结构，一种结构决定一套工艺”。材料稍作更换，或者结构微调，整个制造流程可能就要