Nano Res.[单元]│中南大学张斗教授/长沙理工大学陈海燕团队：界面工程增强(Hf₀.₅Zr₀.₅O₂)n薄膜的铁电特性

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背景介绍随着物联网、大数据与人工智能的高速发展，全球数据存储需求呈指数级增长，对兼具高密度、快读写、低功耗的新型存储器技术提出了迫切需求。铪基铁电薄膜材料因纳米尺度下强铁电性、成分简单且与CMOS工艺