综述:硅基多材料异质集成平台研究进展

MEMS 2026年09月28日 查看原文

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导读多材料异质集成技术为集成光学器件及应用的发展提供了新思路和新方法。近日,九峰山实验室联合中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中山大学、联合微电子中心、中国科学院微电子研究所共同撰写特邀综述论文“