“MEMS质谱分析芯片技术”项目获全国颠覆性技术创新大赛优秀奖

MEMS 2026年10月02日 查看原文

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麦姆斯咨询获悉,近期,2026全国颠覆性技术创新大赛总决赛在上海举行。中国科学院合肥物质科学研究院(简称:合肥物质院)智能所智能微系统实验室参赛项目“MEMS质谱分析芯片技术”斩获大赛全国总决赛优秀奖