已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
2026年，MEMS产业挑战与机遇并存：传统市场竞争加剧，人工智能（AI）算力、具身智能、汽车与工业等领域释放新需求，高精度感知、MEMS光开关等新方向不断涌现。需求在变，制造工艺也在变，材料、设备、