已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
一条频响曲线能找到共振峰，但共振时MEMS器件的哪个区域在运动？多个单元是否同步？当频率升至GHz，微弱振动还能否被看见？温度变化引起的形变，又能为失效分析提供什么线索？据麦姆斯咨询报道，近期，上海微