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电子气体尤其是电子特气是我国集成电路产业发展的“卡脖子”环节，高端产品严重依赖进口，先进制程的关键气体材料几乎全部由海外巨头垄断。重点产品中，高纯三氯化硼国内企业技术水平已达到国际先进水平，电子级六氟