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电子气体尤其是电子特气是我国集成电路产业发展的“卡脖子”环节，高端产品严重依赖进口，先进制程的关键气体材料几乎全部由海外巨头垄断。我国电子气体重点产品中，氦气对外依存度在85%左右，电子级六氟化钨、六