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电子气体是电子工业生产中不可或缺的原材料,是半导体/集成电路产业的“血液”。电子特气是我国集成电路产业发展的“卡脖子”环节,当前整体国产化率不足25%,高端产品严重依赖进口,先进制程的关键气体材料几乎