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光刻胶的生产需要多种原料,包括树脂、单体、光引发剂、溶剂等,这些原料的选择和配比直接影响光刻胶的性能。我国高端光刻胶树脂和光引发剂(光敏剂)基本依赖进口,国产化率比光刻胶成品更低,尤其是KrF、ArF