清华大学在高性能压电材料体系与新型压电机制方面取得进展

MEMS 2026年10月05日 查看原文

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压电材料具有机械能与电能之间可逆转换的特性,在微机电系统(MEMS)、高精度驱动器、超声换能器等关键领域具有广泛应用价值。传统铁电型压电材料虽响应速度快,但其压电应变系数提升面临本征物理限制;而基于氧