已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
纳博会CHInano 2026第十六届国际纳米技术产业博览会（简称“纳博会”）将于2026年10月21-23日在苏州国际博览中心隆重举办，展会覆盖MEMS器件及制造、第三代半导体、原子级制造、微结构制