王孝坤/王玉坤/张学军团队 LAM | 基于离轴明暗场OCT的SiC亚表面损伤检测技术

中国光学 2026年10月13日 查看原文

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Banner● 论文作者撰稿Light: Advanced Manufacturing深度解读中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王孝坤、王玉坤、张学军研究团队联合新加坡国立大学陈南光和广州实验室刘