96×96像素InGaAs SPAD传感器,采用互补门控技术赋能激光雷达

MEMS 2026年10月15日 查看原文

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基于单光子雪崩二极管(SPAD)阵列的直接飞行时间(dToF)激光雷达(LiDAR)已广泛应用于机器人、消费电子和汽车等领域。硅基SPAD具有低噪声以及与CMOS制造工艺兼容的优势,但受硅带隙限制,其