鹏城实验室“河套线”光芯片工艺平台通线,面向多材料、多器件异质集成

MEMS 2026年10月18日 查看原文

已收录文章摘要,完整内容可前往原文阅读。

10月13-14日,鹏城实验室在广东深圳发布“超级光直连系统与光芯片”系列技术成果,并同步举行“特大容量光通信高性能异质集成光芯片工艺平台”(简称“河套线”工艺平台)通线仪式。此次发布的成果贯通了“光