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超导条带单光子探测器（SSPD）基于光致局域超导态-正常态转变实现单光子探测，其响应性能主要受超导薄膜的物理性质与微纳加工工艺共同决定。当前，微纳工艺已形成以电子束光刻和反应离子刻蚀为核心的稳定技术体