无掩膜EUV光刻,有戏?

半导体行业观察 2026年10月19日 查看原文

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半导体行业观察:半导体制造依赖于光刻技术——即将微小的电路图案转移到硅片上的工艺。传统极紫外(EUV)光刻技术通过反射式光学系统投射波长为13.5纳米的光,并利用定制的光掩模(光罩)来定义每一层电路。