已收录文章摘要,完整内容可前往原文阅读。
半导体行业观察:半导体制造依赖于光刻技术——即将微小的电路图案转移到硅片上的工艺。传统极紫外(EUV)光刻技术通过反射式光学系统投射波长为13.5纳米的光,并利用定制的光掩模(光罩)来定义每一层电路。