已收录文章摘要,完整内容可前往原文阅读。
在微电子制造与精密装配中,如何将薄片、晶圆及表面带有脆弱微结构的器件稳稳拾起,再准确放下,是一项看似简单却充满挑战的任务。机械夹持、真空吸附和干式粘附通常依赖直接固体接触,表面粗糙度可能削弱有效接触,