已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
高端科研设备是科技创新的基础，其不但决定了科学研究的广度和深度，更是有力支撑了新兴产业和未来产业的长远发展。大尺寸单晶薄膜外延设备（4英寸及以上）是集成电路、量子科技、高端新材料等领域的重要基础设备，