综述:光谱仪微型化研究进展

MEMS 2026年10月25日 查看原文

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光谱仪是分析物质光谱特征的重要工具,在判定物质的组成、结构与浓度方面发挥着关键作用。传统的台式光谱仪系统依靠长光程和色散元件实现较高的分辨率与较宽的动态范围,但其体积庞大、功耗较高,长期以来限制了其在