人工智能与MEMS技术协同,推动MOS气体传感器智能升级

MEMS 2026年10月26日 查看原文

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在环境监测、食品安全、医疗诊断及工业安全等领域,可靠的痕量气体检测至关重要。金属氧化物半导体(MOS)气体传感器凭借结构简单、灵敏度高、成本低等优势,受到了广泛研究并得到了普遍应用,但传统MOS气体传