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MEMS压力传感器根据其工作原理，可分为压电式、电容式、光纤式、谐振式、压阻式等类型。在这些传感机制中，压阻式压力传感器具有直接电信号读出、基于惠斯通电桥的相对简单的信号调理电路以及与成熟的硅微加工和