西湖大学工学院仇旻团队最新成果:面向高功率激光并行加工的晶圆级碳化硅超构光学平台

研精究微 2026年10月28日 查看原文

已收录文章摘要,完整内容可前往原文阅读。

| 欢迎投稿,投稿请联系:MatResFron001(微信号)近日,西湖大学工学院仇旻团队联合慕德微纳(杭州)科技有限公司杜凯凯博士团队,开发了晶圆级碳化硅超构光学平台。研究将碳化硅衍射光学元件(DO