西湖大学工学院仇旻团队最新成果:面向高功率激光并行加工的晶圆级碳化硅超构光学平台

电介质Dielectrics 2026年10月29日 查看原文

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近日,西湖大学工学院仇旻团队联合慕德微纳(杭州)科技有限公司杜凯凯博士团队,开发了晶圆级碳化硅超构光学平台。研究将碳化硅衍射光学元件(DOE)与超透镜阵列相结合,通过“前端分束、后端逐束聚焦”的光学架