面向可制造性的新型MEMS微结构拓扑优化设计

MEMS 2026年10月30日 查看原文

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在微机电系统(MEMS)中,器件的功能性能通常取决于局部微结构的几何构型,尽管这些结构的物理工作原理各不相同,但它们具有一个共同的基本几何特征:其宏观响应取决于连通路径的拓扑连续性、空间分布以及局部截