利用锗掺杂原位硒化策略,实现高灵敏短波红外硅基光电探测器

MEMS 2026年10月31日 查看原文

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短波红外(SWIR)光电探测器在光通信、成像传感、医疗成像与激光雷达等领域不可或缺,但成熟硅基探测器受约1.12 eV带隙限制,响应在1100 nm以外骤降,难以覆盖短波红外波段;商用InGaAs探测