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第一作者：宁良民通讯作者：陈伟、潘建明、付民通讯单位：山东科技大学、江苏大学电子特种气体是集成电路、显示面板、光伏等高端制造的核心支撑材料，因其在晶圆加工精度和器件良率中的关键作用，被誉为“半导体工业