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微流控振荡器通过周期性改变流动方向，为芯片内的定时控制、流体输运和颗粒操控提供节律性流动。现有系统通常依赖外部泵阀，或将可变形弹性膜嵌入多层通道，作为储存和释放压力能的被动流体电容。前者增加了系统复杂