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微系统的持续小型化不断推动着传感器和执行器技术的发展，从而产生了对兼具小尺寸与高性能的换能器需求。压电微机械超声换能器（PMUT）采用MEMS技术制造，具有紧凑的尺寸、低功耗、与CMOS兼容性。PMU