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一、课题组简介南方科技大学周鑫课题组主要致力于微纳加工工艺与MEMS器件的研究，围绕半导体微纳制造全流程开展基础研究与工程应用，覆盖从器件设计、工艺开发到性能表征的完整链条。课题组导师：周鑫：南方科技