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近几十年来，超声波技术在工业、医疗、农业和军事等诸多领域的应用愈发广泛。这主要源于MEMS技术催生的微机械超声换能器（MUT），它彻底变革了超声传感与成像领域。MUT主要可分为压电式微机械超声换能器（