已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
10月21-23日，第七届MEMS制造大会在苏州举行。MEMS设计、制造、封测、装备及下游应用等产业链上下游企业代表与行业专家汇聚，围绕AI浪潮下MEMS工艺的演进路径与器件产业化落地方案展开交流。本