𝑵𝒂𝒏𝒐 𝑹𝒆𝒔.[制造]│北京大学胡又凡课题组：机器学习驱动柔性碳纳米管薄膜晶体管工艺协同优化，实现低压数字逻辑电路

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背景介绍薄膜晶体管（TFT）是柔性集成电路的基础器件，其制造既要满足低温工艺和机械柔顺性要求，又要兼顾电路所需的驱动能力、稳定性与集成度。现有技术各有局限：非晶硅TFT工艺成熟但迁移率有限；低温多晶硅