模式化抗振+波长调制:XONOX菲索干涉仪如何“凝固”振动中的干涉条纹

中国激光杂志社 2026年09月04日 查看原文

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上期精选以静“致”动——波长调制如何重新定义超精密光学面形检测?菲索(Fizeau)干涉仪,通过采集被测表面与标准镜标准面之间的干涉条纹,解算标准面反射的参考波前,与样品表面反射测试波前的光程差分布,