5种工艺路线,7大研发平台:硅基多材料异质集成概览 |《光学学报》专题封面

中国激光杂志社 2026年08月13日 查看原文

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封面解析封面展示了光子芯片器件的制造技术路线:多材料异质集成。在原硅光晶圆平台上,通过倒装键合、微转印、芯片到晶圆键合、晶圆到晶圆键合、外延生长等工艺过程,将多种材料形成单片集成形式,并实现单片上的多