已收录文章摘要,完整内容可前往原文阅读。
作者导读液滴碰撞是流体力学中一个经典而富有魅力的研究对象,但当碰撞的液体从水变成液态金属,当目标从探索物理现象转向解决芯片制造中的实际工程难题,这项研究便有了截然不同的意义。本文聚焦极紫外(EUV)光