本科生研究论文 | 面向极紫外光源的偏心碰撞金属液滴靶

力学与实践 2026年06月26日 查看原文

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作者导读液滴碰撞是流体力学中一个经典而富有魅力的研究对象,但当碰撞的液体从水变成液态金属,当目标从探索物理现象转向解决芯片制造中的实际工程难题,这项研究便有了截然不同的意义。本文聚焦极紫外(EUV)光