以静“致”动——波长调制如何重新定义超精密光学面形检测?

中国光学 2026年09月07日 查看原文

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在超高精度光学计量领域,环境振动、温度漂移、气流扰动固然是众所周知的"三座大山"。但当测量精度迫近亚纳米级时,工程师们赫然发现,干涉仪自身为调制相位而做的机械运动,反而成了限制精度上限的最大干扰源。如