TGV 玻璃基板微裂纹检测方法

Tom聊芯片智造 2026年09月12日 查看原文

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微裂纹检测的难点在于两方面:一是尺寸小(微米到纳米量级),二是有相当一部分裂纹藏在表面以下(亚表面裂纹),常规表面观察根本看不到。一:光学显微镜检测这是最基础、最常用的表面微裂纹检测手段。普通明场光学