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MEMS加速度计在结构健康监测、振动分析、状态维护和惯性导航等领域发挥着重要作用。但在高温应用场景中，传统的硅基MEMS加速度计容易因本征载流子浓度和漏电流增加，以及材料在500℃以上发生不可逆塑性形