已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
将MEMS加速度计的性能推向亚微重力（sub-µg）水平，本质上面临着降低噪声和提高灵敏度这两大挑战。作为一种固有噪声源，机械热噪声的大小与质量块质量的3/4次方成反比，而仅与梁刚度的4次方根成反比。