什么是四氯化铪(HfCl₄)?

Tom聊芯片智造 2026年10月19日 查看原文

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四氯化铪(HfCl₄)是铪最重要的化合物之一,一方面是生产金属铪的中间体,另一方面是半导体工业中沉积高介电常数(high-k)HfO₂薄膜的经典前驱体。四氯化铪基本性质?项目数据化学式HfCl₄CAS