已收录文章摘要，完整内容可前往原文阅读。
超声技术凭借无创、无电离辐射、实时成像和软组织对比度高等优势，已广泛应用于疾病诊断、治疗和神经调控等领域。超声换能器是超声系统的核心器件，用于实现声能与电能的相互转换。近年来，基于微机电系统（MEMS